%0 Journal Article
%T Preparation, Characterization and Tribological Properties of Elastic Nanocomposite DLC Monolayers<br>纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究
%A CHENG Guang-gui
%A DING Jian-ning
%A LING Zhi-yong
%A KAN Biao
%A FAN Zhen
%A SHI Chao-yan
%A <br>程广贵
%A 丁建宁
%A 凌智勇
%A 坎标
%A 范真
%A 石超燕
%J 摩擦学学报
%D 2008
%I 
%X 利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2.7 nm的DLC膜,采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析,用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度,用UMT-2型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能.结果表明,以γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷(187)为偶联剂的薄膜试样表面比以γ-氨丙基三乙氧基硅烷(APS)为偶联剂的薄膜试样表面更致密且粗糙度更低,薄膜的最上层为DLC膜.在硅表面沉积DLC薄膜可以显著降低其表面的摩擦系数(0.117～0.137),在低载荷条件下,含偶联剂及弹性体的DLC薄膜的摩擦系数低于硅表面沉积DLC的薄膜,且以187为偶联剂的薄膜试样的摩擦性能更佳;在高载荷条件下,硅表面沉积DLC的薄膜具有更优异的摩擦性能.
%K 磁过滤阴极真空弧沉积系统(FCVA)
%K 弹性复合薄膜
%K DLC膜
%K 偶联剂
%K 摩擦性能
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=58989922306049F532A3A21C415E1F02&yid=67289AFF6305E306&vid=D3E34374A0D77D7F&iid=38B194292C032A66&sid=334E2BB8B9A55ABB&eid=D2742EEE6F4DF8FE&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=0&reference_num=18