%0 Journal Article
%T 激光技术在薄膜科学中的应用
%A 陈兴
%A 张霆
%A 方尚旭
%A 罗乐
%J 现代物理知识
%D 2007
%I 
%X 膜的一维尺寸大大小于其余两维。一般把厚度小于1μm的膜称为薄膜,反之则称为厚膜。由于薄膜材料具有许多优异性能,因此近年来薄膜科学的发展极为迅速,涌现出许多薄膜制备技术与方法,如真空蒸发沉积、磁控溅射沉积、离子束溅射沉积、金属有机物化学气相沉积和分子束外延等等。虽然这些各具特色的方法在薄膜研究中得到了广泛应用,但是都各具局限性,不能满足薄膜研究和制备的需要,而激光则具有单色性和方向性好、功率密度高等一系列优点。激光沉积薄膜的方法主要分为两类:一类是激光化学反应沉积,如激光化学气相沉积(laser chemical vapor dep…
%K 薄膜科学
%K 激光技术
%K 金属有机物化学气相沉积
%K 应用
%K 离子束溅射沉积
%K 真空蒸发沉积
%K 磁控溅射沉积
%K 分子束外延
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=1C031B2B4922AA5094987D80AEBA807E&aid=BC945D50F81284F297FEE2A4F6519793&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=94C357A881DFC066&sid=16D8618C6164A3ED&eid=7C3A4C1EE6A45749&journal_id=1001-0610&journal_name=现代物理知识&referenced_num=0&reference_num=0