%0 Journal Article %T 低温等离子体对材料的表面改性 %A 张波 %J 现代物理知识 %D 2006 %I %X 冷等离子体对材料的表面改性,通过放电等离子体来优化材料的表面结构,是一种非常先进的材料表面改性方法。冷等离子体的特殊性能可以对金属、半导体、高分子等材料进行表面改性,该技术已广泛应用于电子、机械、纺织等工程领域。等离子体是“物质的第四态”,它是由许多可流动的带电粒子组成的体系。等离子体的状态主要取决于它的化学成分、粒子密度和粒子温度等物理化学参量,其中粒子的密度和温度是等离子体的两个最基本参量。实验室中采用气体放电方式产生的等离子体主要由电子、离子、中性粒子或粒子团组成。描述等离子体的密度参数和温度… %K 表面改性方法 %K 低温等离子体 %K 材料 %K 冷等离子体 %K 放电等离子体 %K 表面结构 %K 特殊性能 %K 工程领域 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=1C031B2B4922AA5094987D80AEBA807E&aid=6EE468D7FC891E7459AB461D5E15F860&yid=37904DC365DD7266&vid=BCA2697F357F2001&iid=B31275AF3241DB2D&sid=42425781F0B1C26E&eid=1371F55DA51B6E64&journal_id=1001-0610&journal_name=现代物理知识&referenced_num=3&reference_num=0