%0 Journal Article
%T Study of the Wear-Resistance and Machining Application of Magnetron Sputtered TiN/AlN Nano-Multilayer Films<br>磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究
%A YAO Shun-hui
%A SU Yan-liang
%A GAO Wen-xian
%A LIU Chun-hong
%A <br>姚舜晖
%A 苏演良
%A 高文显
%A 刘醇鸿
%J 摩擦学学报
%D 2005
%I 
%X 采用新型高速反应真空磁控溅射系统制备了氮化钛/氮化铝纳米多层膜,探讨了周期(λ)对多层膜力学性能及抗磨性能的影响;在微钻针及车刀表面分别制备了上述多层膜,并分别对电路板以及中碳钢棒进行实机加工测试,以验证其实用性.结果表明:通过控制溅射参数可以制备出周期范围为2.4～67.6nm的氮化钛/氮化铝多层膜;当周期λ≤3.6nm时,相应的多层膜具有较高的硬度、良好的粘附性能及优异的抗磨性能.实机测试结果显示,所制备的多层膜可以改善金属车削和微钻削加工条件,改善程度优于单层氮化钛镀膜.
%K TiN/AlN nano-multilayer films
%K period
%K wear-resistance
%K turning
%K micro-drilling<br>氮化钛/氮化铝纳米多层膜
%K 周期
%K 耐磨性
%K 车削
%K 微钻削
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=6187013EAD2E1ED8&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=C5154311167311FE&iid=38B194292C032A66&sid=B799C1769FCACDC8&eid=7ABC4505E3960D2B&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=6&reference_num=12