%0 Journal Article
%T 具有丝织构TiN薄膜弹性常数的计算
%A 张铭
%A 何家文
%J 自然科学进展
%D 2001
%I 
%X 在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时,因弹性呈现各向异性常发生d-sin2ψ测试曲线的非线性振荡,无法得到准确的应力值.利用Voigt,Reuss和Kroner模型计算了具有丝织构的TiN薄膜的弹性矩阵和X射线弹性常数.计算结果表明当材料具有较强的丝织构时,材料弹性矩阵的对称关系从立方对称转变为六方对称关系,与各向同性同种材料的弹性矩阵相差大,相同分量的值一般相差在13～20 GPa之间;而X射线弹性常数的计算结果差异更大,最大相对误差可达17%.
%K 弹性常数
%K 丝织构
%K 残余应力
%K 薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=96E6E851B5104576C2DD9FC1FBCB69EF&jid=504AF8C1E5476CA7C4EC9DF6FEAC14AC&aid=B7CD6AC36F224F17&yid=14E7EF987E4155E6&vid=708DD6B15D2464E8&iid=0B39A22176CE99FB&sid=BBF7D98F9BEDEC74&eid=9D453329DCCABB94&journal_id=1002-008X&journal_name=自然科学进展&referenced_num=2&reference_num=17