%0 Journal Article
%T 分析超纯材料成分新工艺
%A 周道其
%J 现代物理知识
%D 2005
%I 
%X 美国国家标准和技术研究所(NIST)专家研制 成一种专门的程序保障系统,它能查明超纯材料和 合金中存在的极少量杂质。该所提出的程序包分析 了利用光栅扫描电子显微镜收集的资料,这种显微 镜的工作原理可归结为:对被研究样品辐射一电子 束,随后记录反射的电子和二次电子,并且进行X 光分析,除了有关表面轮廓信息之外,还能获得有关
%K 超纯材料
%K 成分化验
%K 程序保障系统
%K 杂质探测
%K 光栅扫描电子显微镜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=1C031B2B4922AA5094987D80AEBA807E&aid=CCAF4103E18550BE420462B6C6E3502B&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=0B39A22176CE99FB&sid=4AD960B5AD2D111A&eid=4AD960B5AD2D111A&journal_id=1001-0610&journal_name=现代物理知识&referenced_num=0&reference_num=0