%0 Journal Article
%T 超大规模集成电路工艺技术研究室
%A 肖作敏
%J 现代物理知识
%D 1998
%I 
%X 中国科学院微电子中心超大规模集成电路工艺技术研究室是微电子中心从事超大规模集成电路(VLSI)工艺技术研究的实验室,在国内
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=1C031B2B4922AA5094987D80AEBA807E&aid=3E7FB553CECA68CAD987DAD9D842EEBE&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=9CF7A0430CBB2DFD&iid=38B194292C032A66&sid=0B39A22176CE99FB&eid=0B39A22176CE99FB&journal_id=1001-0610&journal_name=现代物理知识&referenced_num=0&reference_num=0