%0 Journal Article
%T Tribological Properties of Sol-Gel ZrO_2 Thin Films<br>溶胶-凝胶法制备的ZrO_2薄膜的摩擦学性能研究
%A CHEN Yun xi
%A LIU Wei min
%A <br>陈云霞
%A 刘维民
%J 摩擦学学报
%D 2001
%I 
%X 在 Si(10 0 )基片上制备晶态 Zr O2 薄膜 ,考察了薄膜的摩擦学性能和摩擦磨损机制 .结果表明 :在低负荷 (0 .5 N )下 ,Zr O2 薄膜与 GCr15钢球和 Si3N4陶瓷球对摩时具有优良的抗磨减摩性能 ,在滑动 5 0 0 0次时的摩擦系数分别为0 .14和 0 .13;但随着负荷和滑动速度的增大 ,薄膜的耐磨寿命降低 ,摩擦系数增大 .采用扫描电子显微镜对薄膜磨痕表面形貌进行观察分析 ,发现在较低负荷和滑动速度条件下 ,Zr O2 薄膜的磨损机制为轻微擦伤 ;而在相对较高的负荷和滑动速度条件下 ,其磨痕表面呈现塑性变形 ,严重擦伤和断裂剥落特征
%K sol
%K gel method
%K ZrO
%K 2 thin film
%K friction and wear behavior
%K wear mechanism<br>溶胶-凝胶法
%K ZrO2薄膜
%K 摩擦学性能
%K 磨损机理
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=C953D866DA2DD3DA72BED68FDD8B4769&yid=14E7EF987E4155E6&vid=659D3B06EBF534A7&iid=E158A972A605785F&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=1&reference_num=0