%0 Journal Article
%T Fatigue and Frictional Behavior of Diamond-like Carbon Films Deposited by Filtered Cathodic Vacuum Arc Technique<br>磁过滤阴极弧制备类金刚石膜的疲劳性能及摩擦磨损性能研究
%A WANG Hui
%A ZHANG Chen-hui
%A LU Xin-chun
%A LUO Jian-bin
%A <br>王慧
%A 张晨辉
%A 路新春
%A 雒建斌
%J 摩擦学学报
%D 2007
%I 
%X 利用离面双弯曲磁过滤阴极真空弧沉积系统,在单晶硅片上制备类金刚石薄膜.采用原子力显微镜观察薄膜表面形貌,采用激光拉曼光谱仪对薄膜的结构进行分析,采用多功能纳米力学性能测试仪测定薄膜的硬度、弹性模量及耐疲劳性能,采用微摩擦磨损试验机考察薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的类金刚石薄膜表面光滑致密,硬度较高;镀膜参数中基体脉冲偏压占空比对薄膜的结构与性能有一定影响.
%K FCVA<br>类金刚石碳薄膜
%K 疲劳性能
%K 摩擦磨损性能
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=D11C17704CB70D4D&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=DB817633AA4F79B9&iid=E158A972A605785F&sid=E42CAFB11D4BE21A&eid=119B6C0AA09DE6B9&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=1&reference_num=15