%0 Journal Article
%T Development and performance Test of a Thin-Film Temperature TranSducer<br>一种薄膜温度传感器的研制与性能试验
%A Hu Gang
%A Dong Guangneng
%A Xie Youbai
%A <br>虎刚
%A 董光能
%J 摩擦学学报
%D 1995
%I 
%X 以射频溅射法分别溅射沉积的Ａｌ２Ｏ３和ＭｇＯ复合层作为绝缘匪，以真空蒸镀的钛膜作为温度敏感膜和以溅射Ａｌ２Ｏ３膜作为保护膜，研制成功了一种宽度为１５μｍ的薄膜温度传感器。测试结果表明，复合层绝缘膜的绝缘性能明显地比Ａｌ２Ｏ３绝缘膜的好，经过同样的热处理后，前者能够保持其２０ＭΩ以上的电阻基本不变，而后者则由２０ＭΩ以上降低到１ｋΩ以下。在给定的试验条件下，这种传感器对温度及作用时间的信号响应敏感，
%K thin-film temperature transducer
%K lubrication test
%K frictional temperature rise<br>薄膜
%K 温度
%K 传感器
%K 试验
%K 制造
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=DF25C2AE31A6A0FC1E4048B5839E2027&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=E158A972A605785F&sid=26AEEED215BE97D0&eid=5DCBAAB000A70168&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=0&reference_num=1