%0 Journal Article
%T Tribological Properties of Sol-Gel ZrO2 Thin Films<br>溶胶—凝胶法制备的ZrO2薄膜的摩擦学性能研究
%A 陈云霞
%A 刘维民
%J 摩擦学学报
%D 2001
%I 
%X 在Si(100)基片上制备晶态ZrO2薄膜，考察了薄膜的摩擦学性能和摩擦磨损机制。结果表明：在低负荷（0．5N）下，ZrO2薄膜与GCr15钢球和Si3N4陶瓷球对摩时具有优良的抗磨减摩性能，在滑动5000次时的摩擦系数分别为0．14和0．13；但随着负荷和滑动速度的增大，薄膜的耐磨寿命降低，摩擦系数增大。采用扫描电子显微镜对薄膜磨痕表面形貌进行观察分析，发现在较低负荷和滑动速度条件下，ZrO2薄膜的磨损机制为轻微擦伤；而在相对较高的负荷和滑动速度条件下，其磨痕表面呈现塑性变形，严重擦伤和断裂剥落特征。
%K 溶胶－凝胶法
%K 摩擦学性能
%K 磨损机理
%K 二氧化锆薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=DA5C645A6635C363&yid=14E7EF987E4155E6&vid=659D3B06EBF534A7&iid=E158A972A605785F&sid=6826CBE9C80ACB20&eid=B4E8EA49DAAEB84F&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=7&reference_num=13