%0 Journal Article
%T Tribological Properties of Diamond-Like Carbon Films by Electrochemical Deposition<br>电化学沉积DLC薄膜的摩擦学性能研究
%A 阎兴斌
%A 徐洮
%A 杨生荣
%A 薛群基
%A 王永谦
%J 摩擦学学报
%D 2003
%I 
%X 采用直流电源，以有机溶剂作为碳源，通过电化学沉积方法在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜．用原子力显微镜、拉曼光谱仪和傅立叶红外光谱仪等表征了薄膜的结构，用DF-PM型动-静摩擦系数精密测定仪考察了薄膜的摩擦学性能．结果表明：电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜的硬度较高(约14GPa)，薄膜均匀、致密，表面粗糙度小；在室温干摩擦条件下，薄膜同GCrl5钢以及α-Al2O和Si3N4陶瓷对摩时的摩擦系数随载荷增加而略微减小；陶瓷材料／类金刚石碳膜的摩擦系数较低，钢／类金刚石碳膜的摩擦系数较高；类金刚石碳薄膜同Si3N4陶瓷对摩时呈现断裂剥落特征；同GCrl5钢对摩时发生转移并形成转移膜，耐磨寿命缩短．
%K electrochemical deposition
%K DLC film
%K tribological properties<br>电化学沉积
%K 类金刚石碳膜
%K 摩擦学性能
%K DLC薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=B45DB10A8FC12905&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=EA389574707BDED3&iid=38B194292C032A66&sid=954CE65414DD94CA&eid=DABEF202280E7EF1&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=5&reference_num=12