%0 Journal Article
%T Tribological Properties of Graphite-Like Carbon Coating Prepared by Unbalanced Magnetron Sputtering Method<br>非平衡磁控溅射沉积类石墨膜及其摩擦磨损性能研究
%A YANG Shi-cai
%A <br>付永辉
%A 朱晓东
%A 何家文
%A YANGShi—Cai
%J 摩擦学学报
%D 2003
%I 
%X 利用全封闭非平衡磁控溅射技术制备了高硬度类石墨膜，对不同工艺所制备的薄膜进行了微观分析，测定了薄膜的厚度、膜基结合强度和硬度，并考察了薄膜的摩擦学性能和腐蚀性能．结果表明：采用全封闭非平衡磁控溅射方法制备的以sp^2杂化为主的类石墨膜具有高硬度、低摩擦系数和良好的抗磨及抗腐蚀性能；摩擦系数随载荷的增大而减小，而磨损率同硬度呈反比关系；加入适量Cr可软化薄膜，提高膜基结合强度，从而优化薄膜的性能．
%K unbalanced magnetron sputtering deposition
%K high hardness carbon coating
%K tribological properties<br>非平衡磁控溅射
%K 高硬度类石墨膜
%K 摩擦学性能
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=700E62691481A1A0&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=EA389574707BDED3&iid=B31275AF3241DB2D&sid=788931E6318420A3&eid=98494933359B55EC&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=11&reference_num=10