%0 Journal Article
%T Tribological Characteristics of TiN and TiCN Hard Coatings Prepared by Pulsed D.C. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition<br>脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究
%A 马胜利
%A 马大衍
%A 王昕
%A 徐可为
%A 介万奇
%J 摩擦学学报
%D 2003
%I 
%X 对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性，用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力，考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素．结果表明，TiCN薄膜具有较高硬度、良好的膜基结合力，相对于TiN薄膜而言表现出更低的摩擦系数和更好的耐磨性能．在实际使用中应注重成分和结构优化设计，以保证薄膜具有良优良的减摩性能．
%K hard-coatings
%K plasma enhanced chemical vapour deposition
%K interfacial bonding strength
%K tribological characteristic<br>硬质薄膜
%K PCVD
%K 结合力
%K 摩擦磨损性能
%K 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积
%K TiN薄膜
%K TiCN薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=446A73C5BB237EDC&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=EA389574707BDED3&iid=38B194292C032A66&sid=E114CF9BB47B65BE&eid=B1F98368A47B8888&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=9&reference_num=7