%0 Journal Article
%T Tribological Properties of Diamond Like Carbon Film Prepared by Low Energy lon Beam Assisted Deposition with a Single lon Source<br>单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜摩擦性能的研究
%A Zhu Hong
%A Liu Xianghuai
%A Ren Congxin
%A Zou Shichang
%A <br>朱宏
%A 刘惠文
%J 摩擦学学报
%D 1995
%I 
%X 目前，制备类金刚石薄膜的方法很多，然而其中的多数在沉积过程中都需要基本具有比较高的温度，这不不可避免地会对耐温性较差的材料造成损伤，或使机械零部件发生变形和尺寸变化，因此，利用单源低能离子束辅助沉积法制备了非晶碳薄膜，并且利用喇曼光谱和俄歇电子能谱研究了薄膜的结构，发现了其为无定形的类金刚石薄膜，薄膜中的碳原子成键主要ｓｐ＾２杂化键，研究表明，随着离子能量和束流的增大，薄膜的显微硬度，摩擦系数和寿
%K ion beam assisted deposition
%K diamond like film
%K tribological properties<br>离子束辅助沉积
%K 类金刚石薄膜
%K 摩擦性能
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=E60AFBEFA5743081E58EC1A7E0DCCD35&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=7F5DDA4924737DF5&eid=F122871CC7EC92DC&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=11&reference_num=2