%0 Journal Article
%T 磁场在直流三极溅射沉积TiC中的应用
%A 相瑜才
%J 摩擦学学报
%D 1983
%I 
%X 作者从电磁学基本理论出发,阐明了正交磁场对提高直流三极溅射沉积率的工作原理。并介绍了正交磁场的施加方法和DMZ-450型正交电磁场直流三极溅射炉的特性,它所沉积的TiC涂层质量及其初步的应用效果。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=F38DA67D158A6F15&yid=A7F20A391020FDEE&vid=38B194292C032A66&iid=38B194292C032A66&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=0&reference_num=0