%0 Journal Article
%T Study on Evaluating the Bind Strength between Hard Film and Substrate by Erosion Method<br>利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究
%A Li Shizhuo Chai Liming
%A <br>李诗卓
%A 柴黎明
%J 摩擦学学报
%D 1990
%I 
%X 作者利用入射速度为40m/s的80~#和100~#白刚玉砂冲击超硬质膜,测定入射粒子量与膜剥离之间的定量关系,确定造成底材开始显露所需的粒子用量(孕育剂量)和冲蚀坑中心部位的膜全部剥离时的最低粒子用量(临界剂量),并以两者之差作为判据,收到了与划痕法通过临界载荷评价膜-底材结合强度的同样效果。试验结果证明,孕育剂量与膜厚呈正变关系,因而通过它可以先求出膜厚,再求出剥离单位厚度膜层所消耗的粒子量(线冲蚀系数),并用其作为膜-底材结合强度的判据,可以扣除膜厚的影响。作者认为,冲蚀法的主要优点是设备简单、操作方便、取样面积大、代表性好,能为各类薄膜工艺提供可信的判据。
%K erosion method
%K incubation dose
%K critical dose
%K erosion factor of film
%K scratching method
%K critical load
%K hard film
%K binding strength<br>冲蚀法
%K 孕育剂量
%K 临界剂量
%K 膜的冲蚀系数
%K 划痕法
%K 临界载荷
%K 硬质膜
%K 结合强度
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=2F467A5C6371C830162AAA01D7DAD07A&aid=EE19531CB8D5E489A2E1BA88092BFE4F&yid=8D39DA2CB9F38FD0&vid=F3090AE9B60B7ED1&iid=E158A972A605785F&journal_id=1004-0595&journal_name=摩擦学学报&referenced_num=0&reference_num=0