%0 Journal Article
%T ZnO薄膜的Sol-Gel制备与结构分析
%A 包定华
%J 科学通报
%D 1995
%I 
%X ZnO薄膜是一种极为重要的多功能电子材料,已广泛地应用于体声波(BAW)延迟线、声表面波(SAW)器件、声光器件,以及气敏、力敏、压敏等传感器件中.传统的ZnO薄膜制备技术主要有射频磁控溅射,离子束蒸发,化学气相淀积等几种,近年来,Sol-Gel技术得到了很大的发展,已成功地制备出高取向的PbTiO_3薄膜.高取向和外延的K(Ta,Nb)O_3薄膜和(Sr,Ba)Nb_2O_6薄膜等,利用该工艺制备高质量的薄膜,有着极大的发展潜力.本文报道了采用Sol-Gel法在石英玻璃衬底上制备高c轴取向ZnO薄膜
%K 薄膜
%K 制备
%K 结构分析
%K 氧化锌
%K 溶胶－凝胶法
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=1BA4AABFBD6D005CC84ECC576E2BDB3E&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=1371F55DA51B6E64&iid=B31275AF3241DB2D&sid=6A9657F54F754BF6&eid=6A9657F54F754BF6&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=2&reference_num=4