%0 Journal Article
%T 在超微金刚石涂层上化学气相沉积金刚石薄膜的研究
%A 陈权
%J 科学通报
%D 1999
%I 
%X 爆轰法合成的超微金刚石在化学气相沉积金刚石薄膜的过程中可以起到类似“晶籽”的促进成核的作用，在直流电弧等离子体喷射装置上进行了实验结果显示，在有ＵＦＤ涂层的衬底上进行沉积可以使成核率提高了２－３倍，薄膜的形貌也与正常工艺得到的薄膜有所不同。较高的衬底温度可能会使部分ＵＦＤ发生氧化或无定形化。进一步的研究应着眼于改善ＵＦＤ的性质和降低基底温度。
%K 超微粒
%K 金刚石薄膜
%K 化学气相沉积
%K CVD
%K UFD
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=313DF4CEA3F28174&yid=B914830F5B1D1078&vid=1AE5323881A5ECDC&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=933658645952ED9F&eid=7C3A4C1EE6A45749&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=5&reference_num=9