%0 Journal Article
%T 室温基底溅射沉积c轴取向ZnO薄膜
%A 张燕陵
%J 科学通报
%D 1993
%I 
%X c轴取向氧化锌(ZnO)薄膜具有较强的压电和压光效应,常常用于声电、声光装置。在体声波(BAW)方面,如用于超声显微镜和薄膜谐振器等;在声表面波(SAW)方面,作为一种传输和相干材枓,它用作滤波器、卷积器、放大器、图象扫描以及谐振器;在导向光波(GOW)中,ZnO薄膜也广泛应用于声光和电光装置和二次谐波发生器等。
%K 氧化锌
%K 薄膜
%K 等离子体
%K 溅射
%K 沉积
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=AB57CA1D10132A54BDA9DA500853CB84&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=16D8618C6164A3ED&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=44E78A5D1B37D836&eid=44E78A5D1B37D836&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=3