%0 Journal Article
%T 深度同步辐射光刻研究
%A 田扬赵
%J 科学通报
%D 1995
%I 
%X 80年代中期由Ehrfeld教授及其同事创造的LIGA(in German:Lithographfie Galvano-formung,Abformtecnnik)技术被认为最有前途的超微细加工方法.LIGA技术即是深度同步辐射X射线光刻、电铸成型、塑料铸模等技术相结合的综合性技术.最基本和最核心的工艺是深度同步辐射光刻,只有深度同步辐射光刻刻蚀出比较理想的光刻胶图形,才能保证制作出高质量的其它材料(如金属)结构图形.LIGA技术在Wisconsin大学得到进一步发展,使之能够实现各零件的组合和装配.
%K 同步辐射
%K 光刻
%K LIGA
%K 超微细加工
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=497E62E3E77E40CCE617B1D1E1EA6A7B&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=1371F55DA51B6E64&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=06EA2770E96C5402&eid=06EA2770E96C5402&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=1