%0 Journal Article %T PbTiO_3薄膜的热释电特性研究 %A 卢朝靖 %J 科学通报 %D 1994 %I %X 铁电PbTiO_3薄膜具有优良的热释电性质,因其有介电常数ε_r小、热释电系数γ大、居里温度高、体积热容量小、γ和ε_r的温度系数小等优点,受到人们的极大关注.国外已用溅射法制备的PbTiO_3薄膜作成了热释电红外探测器.我们用sol-gel方法在单晶Si衬底上制备了PbTiO_3薄膜,并简要报道了它的电学性质.本文着重研究 PbTiO_3薄膜的热释电特性,主要介绍极化条件、烧结温度、膜厚等工艺因素对介电、热释电性质的影响,以及热释电系数随温度的变化关系,优化了工艺过程. %K 薄膜 %K 热释电性质 %K 烧结 %K 钛酸铅 %K 陶瓷 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=4B7A236718359A053D2618BAF57631F6&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=7C3A4C1EE6A45749&iid=B31275AF3241DB2D&sid=51F9E747BA1ACB45&eid=51F9E747BA1ACB45&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=2&reference_num=1