%0 Journal Article
%T 在辉光放电中八氟环丁烷聚合与刻蚀的竞争历程的研究
%A 叶牧
%J 科学通报
%D 1985
%I 
%X 在辉光放电中碳氟化合物存在聚合(polymerization)与刻蚀(ablation)两种相反的过程,两者竞争结果对聚合膜的淀积速率、结构和性能均有影响。一般认为,在辉光放电中,全氟烷烃以刻蚀为主;全氟烯烃以聚合为主。全氟环烷烃的氟碳比与全氟烯烃相同,但具有饱和性,兼有全氟烷烃与全氟烯烃的某些特性。对全氟环烷烃等离子体聚合与刻蚀的竞争历程研究尚
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=FEC623D9FA29B848CCBB5D21DA5BF2F5&yid=74E41645C164CD61&vid=340AC2BF8E7AB4FD&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=34D13857B558254E&eid=34D13857B558254E&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=0