%0 Journal Article
%T 反应离子束镀膜制备高T_cY-Ba-Cu-O超导薄膜
%A 任琮欣
%J 科学通报
%D 1989
%I 
%X 一、引言 自1986年IBM苏黎士研究实验室Bednorz和Müller发现Ba—La—Cu—O高T_6超导氧化物后,高温超导发展迅猛。在弱电应用方面最有前景的氧化物超导薄膜尤其如此。目前,制备氧化物超导薄膜主要有两种方法:一是电子束蒸发,如IBM的Chaudhari等用三枪电子束共蒸Y、Ba、Cu,退火后获得零电阻为90K的Y—Ba—Cu—O超导薄膜,电流密度高达10~5A/cm~2(77K);国内北京大学物理系用电子束分层蒸发也获得了零电阻为84K的YBaCuO超导薄膜。另一种方法为溅射沉积。日本的Enomoto等和中国科学院物理研
%K 高温超导
%K 薄膜
%K 离子束溅射
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=48D89C2DFE5AB22E124753CAB1C0A697&yid=1833A6AA51F779C1&vid=339D79302DF62549&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=B28C697BC3A1BA62&eid=B28C697BC3A1BA62&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=0