%0 Journal Article
%T Ti/N粒子沉积能量对氮化钛薄膜表面层微结构的影响
%A 马忠权
%J 科学通报
%D 2004
%I 
%X 用直流(d．c)反应磁控溅射沉积技术、X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜成像(TEM)微结构分析方法，研究了氮化钛薄膜表面层固态结构随凝聚增原子能量的变化情况．发现沿(111)和(002)晶面方向择优生长的TiNx层的点阵参数(a0)与衍射峰半高宽(FWHM)的变化和载能束引起薄膜微观相成分、晶面内压应力、晶粒尺寸和结构缺陷密度紧密相关．在新的理论框架下，分别计算了氮化钛薄膜表面上每个凝聚原子的有效迁移，薄膜表面达到最小能量状态时每个凝聚原子应该获得的平均能．实验观察的结果在理论分析中得到了定量解释．
%K TiN薄膜
%K 粒子沉积能量
%K 氮化钛薄膜
%K 半导体
%K 微结构
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=8AE73C5D6FD13994&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=2A3781E88AB1776F&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=8E6AB9C3EBAAE921&eid=014B591DF029732F&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=15