%0 Journal Article
%T 多层成分调制膜结构的低角X射线衍射研究
%A 汪卫华
%J 科学通报
%D 1993
%I 
%X 组分调制多层膜(ML)是由两种不同组元的纳米量级的薄膜交替沉积形成的,它有两个重要的结构特征:纳米级的调制周期和高密度界面。这种独特结构使得ML具有很多独特的性能,在应用及基础研究上都具有重要意义。ML在垂直膜面方向的层状结构在X射线辐照下也产生Bragg衍射,但它产生的调制峰出现在低角位置(2θ<10°)。调制峰包含多层膜的结构信息。本文报道了用低角X射线衍射(LXRD)对不同系列的多层膜的研究结果,结合光学原理精确地确定了其平均调制周期、平均成分,对界面粗糙度进行了评估,同时还
%K X射线衍射
%K 调制峰
%K 界面
%K 多层调制膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=8F42D594FEE0EC162C00C1B753F51D3D&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=16D8618C6164A3ED&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=117143DBED3B4430&eid=117143DBED3B4430&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=2