%0 Journal Article
%T 离子探针深度分析中的质量干扰离子生成特性研究
%A 冶宏振
%J 科学通报
%D 1992
%I 
%X 质量干扰是离子探针分析中经常出现的一种物理化学现象。在用离子探针测量Si中注入杂质的浓度分布时常遇到质荷比m/e]与待测离子接近的质量干扰离子的质量干扰,从而给
%K 深度分析
%K 质量干扰离子
%K 离子探针
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=521365B921A9F2D8003E8C0C42DA3CE6&yid=F53A2717BDB04D52&vid=42425781F0B1C26E&iid=59906B3B2830C2C5&sid=74253B3A525E9002&eid=74253B3A525E9002&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=1