%0 Journal Article %T 用触针下分布电阻的光电导相位法测量半导体中非平衡载流子寿命 %A 洪坚 %J 科学通报 %D 1966 %I %X 到目前为止,半导体中非平衡载流子寿命测试方法近三十种。这些方法一般可分为定态法(卽间接测量)和非定态法(卽直接测量)两大类。本文所讨论的测试法是属于非定态法测量这一类。当半导体表面受到正弦调制光照时,如果样品满足半无限大假定,那么半导体内部非平衡载流子浓度(n)应满足连续性方程: _n/_t=D ~2n/x~2-n/τ++I_0βke~(-kx)(1+e~(jwt)) (1)式中t表示时间,x表示沿光照方向坐标,τ是样品寿命,D是双极扩散常数,I_0是单位时间、单位光照面上平均入射的光子数,β是量子产额,k是激发光的吸收系数,ω是调制的频率。令方程(1)的解具有下列形式: %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=7C7E63796F062382A606A3A9833B8C05&jid=B40D4BA57FF46E45205A09B4DC283152&aid=039E7BD0294817A7&yid=C7EA1836BA194C9B&vid=708DD6B15D2464E8&iid=E158A972A605785F&sid=4C100B7696CE9E24&eid=4C100B7696CE9E24&journal_id=0023-074X&journal_name=科学通报&referenced_num=0&reference_num=0