%0 Journal Article
%T A ferric-doped titanium oxide thin film oxygen sensor<br>掺Fe3+ TiO2 薄膜型氧气传感器研究
%A WANG Wei
%A WANG Xiao-lei
%A DAI Zuo-hai
%A TANG Zheng-wei
%A LI Yin-guo
%A XU Yang
%A BAI Chen-xu
%A <br>王巍
%A 王晓磊
%A 代作海
%A 唐政维
%A 李银国
%A 徐洋
%A 白晨旭
%J 重庆邮电大学学报(自然科学版)
%D 2011
%I 
%X 讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理，重点分析了掺铁对氧敏特性的影响。设计出了基于TiO2薄膜结构氧气传感器，通过硅工艺制作了Fe3+掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400 ℃下对传感器的氧敏特性进行了测试。实验结果表明，该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应，且具有低电阻的特性。
%K titanium oxide
%K Fe3+
%K oxygen sensor
%K thin film gas sensor<br>TiO2
%K Fe3+
%K 氧气传感器
%K 薄膜气敏传感器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=96E6E851B5104576C2DD9FC1FBCB69EF&jid=5C2694A2E5629ECD6B59D7B28C6937AD&aid=8A9892E12714AC7FFD369DD13CD1149B&yid=9377ED8094509821&vid=EA389574707BDED3&iid=E158A972A605785F&sid=5824536C90612D67&eid=BD7D27247C63490C&journal_id=1673-825X&journal_name=重庆邮电大学学报(自然科学版)&referenced_num=0&reference_num=7