%0 Journal Article
%T STRUCTURAL STABILITY OF Co/C MULTILAYERS<br>Co／C多层膜的结构稳定性
%A JIANG Enyong
%A BAI Haili
%A WANG Cunda
%A UBOGLI
%A <br>姜恩永
%A 白海力
%A 王存达
%J 金属学报
%D 1996
%I 
%X 用Ｘ射线衍射、透射电镜、Ｒａｍａｎ光谱、Ｘ射线光电子谱等测量方法研究了用对向靶溅射法制备的Ｃｏ／Ｃ多层膜的结构热稳定性．退火Ｃｏ／Ｃ多层膜的结构变化包括周期膨胀、非晶Ｃｏ层结晶、掠入射反射率变化以及化合物的形成．４００℃退火，周期膨胀主要是由于非晶碳层的石墨化．Ｃｏ／Ｃ系统的相分离造成掠入射反射率增强，可解释为Ｃｏ／Ｃ系统的正的混合焓．５００℃退火，Ｃｏ层的结晶和集聚导致了周期的异常膨胀和反射率的降低．此时界面处形成了少量的碳化物．
%K Co/C multilayer
%K annealing
%K period expansion<br>Co／C多层膜
%K 薄膜
%K 结构
%K 稳定性
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=AB188D3B70B071C57EB64E395D864ECE&jid=B061E1135F1CBDEE96CD96C109FEAD65&aid=E55767E87E6B2849675ED0832934DEA4&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=9971A5E270697F23&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=305A58D956DD6BAF&eid=CD794621A184DC14&journal_id=0412-1961&journal_name=金属学报&referenced_num=1&reference_num=1