%0 Journal Article
%T 离子束诱导转型成结的碲镉汞光伏器件
%A 贾嘉
%J 红外
%D 2003
%I 
%X 离子束诱导转型成结技术是一种可以获得高质量p-n结的新型成结方法，它克服了传统碲镉汞(MCT)离子注入成结工艺中钝化层有损伤的弊病，且工艺相对简单，有希望成为碲镉汞红外焦平面器件的新一代成结技术。本文介绍了以环孔工艺和氢化技术为代表的常规离子束刻蚀(Ion Beam Milling)及以H2／CH4为代表的反应离子束刻蚀(Reactive Ion Etching)两大类离子束诱导转型(Plasma induced type conversion)成结技术的基本原理、特点及其工艺过程。并以反应离子束刻蚀(RIE)为例，列举了现有报道的典型器件性能。同时还把离子束诱导与离子注入工艺在各方面作了比较。
%K 离子束诱导转型成结
%K 碲镉汞光伏器件
%K 红外探测器
%K 碲镉汞红外焦平面器件
%K 环孔工艺
%K 氢化技术
%K 离子束刻蚀
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=0E9F62BB76952228&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=5D311CA918CA9A03&sid=CA4FD0336C81A37A&eid=9CF7A0430CBB2DFD&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=3&reference_num=47