%0 Journal Article
%T 硅热电堆探测器件及制作
%A 广田正树
%A 森田信一
%A 江涛
%J 红外
%D 2001
%I 
%X 针对实现红外技术在夜间和一些死角方面应用的视觉辅助系统,把微机械加工技术和制作微细红外吸收膜的工艺应用到CMOS技术中,使热电堆实现了高性能化.利用运用PSG替代层的分离法制作用低压真空蒸镀法成膜的金黑膜,使吸收膜实现了微细化.制作出三种160 μm见方的原型传感器,它们在大气中的灵敏度分别达到300 V/W、149 V/W、60 V/W,响应时间常数达2 ms、0.46 ms、0.27 ms.还利用原型传感器制成了64×32像元焦平面列阵传感器(FPA).
%K 硅热电堆探测器伯
%K 金黑膜
%K CMOS
%K 热式红外传感器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=3D00F95E9264A51E&yid=14E7EF987E4155E6&vid=771152D1ADC1C0EB&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=BC12EA701C895178&eid=C5154311167311FE&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=1&reference_num=8