%0 Journal Article
%T 用以探测气体的微光学机电系统
%A 顾聚兴
%J 红外
%D 2003
%I 
%X 美国Ton光学公司与美国喷气推进实验室合作研制一种用以探测二氧化碳的微光学机电系统(MOEMS),并且打算把这种系统的成本降低到现有电化学气体探测方法的水平。据有关专家解释,电化学传感器虽然具
%K 气体探测
%K 微光学机电系统
%K 电化学传感器
%K 红外辐射源
%K 半导体探测器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=C8225097773C6B75448BA678C3D6EDA5&yid=D43C4A19B2EE3C0A&iid=59906B3B2830C2C5&sid=42425781F0B1C26E&eid=42425781F0B1C26E&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0