%0 Journal Article
%T 实时红外光学传感器
%A 高
%J 红外
%D 2006
%I 
%X 采用不可见光光学传感器的自动传感装置正在被越来越多地结合到工业和制造设施中。本专利说明书图 1所示的架空式红外传感运送装置就是一个典型的例子。这种运送装置装在一个自动净化室半导体晶片设施
%K 红外光学传感器
%K 红外传感器
%K 传感装置
%K 半导体晶片
%K 实时
%K 红外光束
%K 专利说明书
%K 安全保护
%K 运送
%K 可见光
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=42A11E62734A5FB51F2B1E78EB8CE46E&yid=37904DC365DD7266&vid=DB817633AA4F79B9&iid=0B39A22176CE99FB&sid=F3090AE9B60B7ED1&eid=F3090AE9B60B7ED1&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0