%0 Journal Article
%T 带集成紫外滤光片的背照式CCD器件
%A 高国龙
%J 红外
%D 2002
%I 
%X 美国喷气推进实验室的研究人员目前正在研制一种带δ掺杂和集成光学滤光片的减薄型硅CCD器件,这种CCD器件为背照式器件,它将被用作在紫外波长范围内工作的成像探测器.
%K 背照式CCD器件
%K 电荷耦合器件
%K δ掺杂
%K 集成紫外滤光片
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=DC5A2AFBD2958601&yid=C3ACC247184A22C1&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=ECE8E54D6034F642&eid=ECE8E54D6034F642&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0