%0 Journal Article
%T 美国开发出用于探测集成电路缺陷的新技术
%A 高国龙
%J 红外
%D 2002
%I 
%K 美国
%K 集成电路
%K 缺陷探测
%K 分析技术
%K 工作原理
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=B9688E14030F40E72CCA525BF6034A33&yid=C3ACC247184A22C1&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=DF92D298D3FF1E6E&eid=DF92D298D3FF1E6E&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0