%0 Journal Article
%T 多光谱单片红外焦平面列阵探测器
%A 高
%J 红外
%D 2004
%I 
%X 本发明提供一种多色红外传感器件，即单片多色红外成像列阵。这种器件是通过用分子束外延(MBE)将碲镉汞材料结构直接生长在定制的读出电路上的方式制备的。其具体制备步骤如下：在硅半导体衬底的一个表面上专门设计和制备一个用于直接外延生长的读出集成电路；在该表面上用MBE连续生长具有不同带
%K 红外焦平面列阵
%K 探测器
%K 红外传感器件
%K 分子束外延
%K 碲镉汞材料
%K 集成电路
%K 湿法蚀刻
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=9C1F7A2564452558889B71CFA55C037D&yid=D0E58B75BFD8E51C&iid=0B39A22176CE99FB&sid=7801E6FC5AE9020C&eid=7801E6FC5AE9020C&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0