%0 Journal Article
%T 铁电薄膜材料生长及特性
%A 王根水
%J 红外
%D 2001
%I 
%X 当今高度信息化社会对光电子器件提出了小型、高速、大容量、高集成、多功能等诸多要求.铁电薄膜(ferroelectricthin films)材料具有优良的铁电、压电、热释电、电光、声光、高介电常数和非线性光学光折变等效应,可以单独利用上述效应制作不同的功能器件,也可以综合利用多个效应制作多功能新型光电子器件,广泛地应用于存储器、传感器、光集成、光波导、热释电探测和微机械等领域.薄膜制备技术和半导体集成技术的快速发展,使铁电薄膜材料与半导体材料的集成成为可能,也对铁电薄膜材料的制备技术提出了更高的要求.
%K 铁电薄膜材料
%K 生长
%K 特性
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=27DF40E48A02EF45&yid=14E7EF987E4155E6&iid=94C357A881DFC066&sid=DF92D298D3FF1E6E&eid=F3090AE9B60B7ED1&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=1&reference_num=54