%0 Journal Article %T Progress of Multicolor Single Detector to Detector Array Development For Remote Sensing
用于遥感的多色单个探测器至探测器列阵的发展 %A 顾聚兴 %J 红外 %D 2007 %I %X 要想了解地球大气所包含的化学和物理循环,了解CO2、O3、H2O和CH4等大气物质在空间和时间上的分布至关重要.虽然某些遥感技术可用来测量这些大气物质,但那是一些采用复杂仪器的高成本技术.因此,利用单台遥感仪器同时测量这些大气物质,这对于降低成本、减小仪器的尺寸和复杂性具有明显的意义.在保持仪器灵敏度和探测距离的同时,多色探测器的质量,即高量子效率和低噪声也极其重要.本文介绍了单元多色探测器的结构,这是研制多色焦平面列阵的第一步.这种探测器由做有p-n结的Si、GaSb和InAs三层薄片构成,它们被焊接在一起并分别覆盖从紫外到900nm、从800nm到1.7μm和从1.5μm到3.4μm的光谱波段.为了优化薄片的厚度以达到最大的吸收系数,每种材料的吸收系数都已建模.除InAs层之外,其它两层薄片的量子效率都已测定.本文报导了对每层结构进行的光学和电学表征,其中包括Si p-i-n结构以及GaSb和InAs p-n结的暗电流和光谱响应测量.材料的加工效应也得到了讨论. %K 遥感 %K 多色 %K 探测器列阵 %K 发展 %K Remote %K Sensing %K Development %K Array %K Detector %K Single %K Multicolor %K 效应 %K 加工 %K 光谱响应 %K 暗电流 %K 电学表征 %K 光学 %K 测定 %K 量子效率 %K 建模 %K 材料 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=B33DE72B197490BC936645B97B19A194&yid=A732AF04DDA03BB3&vid=D3E34374A0D77D7F&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=2001E0D53B7B80EC&eid=D997634CFE9B6321&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0