%0 Journal Article
%T 量子光电子集成电路（OEIC）用材料工艺技术
%A 片山良史
%A 江涛
%J 红外
%D 1992
%I 
%K 光电子
%K 集成电路
%K 半导体
%K 单晶
%K 工艺
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=1EA6AD23B8EB5424BD214F289FD800F2&yid=F53A2717BDB04D52&iid=38B194292C032A66&sid=BC12EA701C895178&eid=96C778EE049EE47D&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0