%0 Journal Article
%T 表面微加工传感器结构中的锆钛酸铅（PZT）薄膜
%A Tama.
%A T 高国龙
%J 红外
%D 1992
%I 
%K PZT薄膜
%K 传感器
%K 表面微加工
%K 切削
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=1EA6AD23B8EB54240E9CC2725E67EC2C&yid=F53A2717BDB04D52&iid=0B39A22176CE99FB&sid=C5154311167311FE&eid=771469D9D58C34FF&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0