%0 Journal Article %T 超高速光电开关:扫描隧道显微镜超微细加工技术的新发展 %A 板谷太郎 %A 江涛 %J 红外 %D 1997 %I %K 集成电路 %K 光电开关 %K 超微细加工 %K AFM %K STM %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=A62E8A89C93DAD1B4A46DA4920BE3EC6&yid=5370399DC954B911&iid=5D311CA918CA9A03&sid=B31275AF3241DB2D&eid=F3090AE9B60B7ED1&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0