%0 Journal Article %T 微结构在光编码器,光组件方面的应用 %A 泽田廉士 %A 江涛 %J 红外 %D 1994 %I %K 显微结构 %K 编码器 %K 位置传感器 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=DC1530B9684A047B6E8B270F9A4F3F09&yid=3EBE383EEA0A6494&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=771469D9D58C34FF&eid=27746BCEEE58E9DC&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0