%0 Journal Article
%T 光互连技术的应用
%A 和田修
%A 江涛
%J 红外
%D 1994
%I 
%K 硅
%K 集成电路
%K 电气配线
%K 超高集成化
%K 光互连
%K 互连
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=3723000AE493FCE650601982177048B1&aid=DC1530B9684A047BD210907937CD1EA2&yid=3EBE383EEA0A6494&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=13553B2D12F347E8&eid=BC12EA701C895178&journal_id=1672-8785&journal_name=红外&referenced_num=0&reference_num=0