%0 Journal Article %T CHARACTERIZATION OF UNCOOLED VO_2-BASED THIN FILMS BOLOMETER
基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究 %A CHEN Chang Hong YI Xin Jian %A ZHANG Jing XIONG Bi Feng %A
陈长虹 %A 易新建 %A 张静 %A 熊笔峰 %J 红外与毫米波学报 %D 2001 %I Science Press %X 用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常数 τ=0 .0 11s的非致冷红外探测 %K bolometer %K infrared %K vanadium dioxide %K detectivity %K responsivity
测辐射热探测器 %K 红外 %K 二氧化钒 %K 探测率 %K 响应率 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=DD69F841C8B77D8BE821BEB29585F2D2&yid=14E7EF987E4155E6&iid=0B39A22176CE99FB&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=2&reference_num=0