%0 Journal Article
%T Research on Advantages of UV Laser in Fine Processing Technology<br>紫外激光在微细加工技术中的优势研究
%A YU Jun
%A ZENG Zhi-jiang
%A ZHU San-gen
%A GONG Hai-mei
%A <br>俞君
%A 曾智江
%A 朱三根
%A 龚海梅
%J 红外与毫米波学报
%D 2008
%I Science Press
%X 本文主要涉及紫外激光加工技术.通过实验,将紫外/红外两种激光设备对材料的加工结果进行比较,发现在特殊材料加工上,紫外激光相对于红外激光,加工边沿更光滑、效率更高.对于用红外透过率较高的材料加工的红外器件来说,紫外激光在加工中具有明显的优势.
%K 紫外激光
%K 红外激光
%K 红外器件
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=2316FA2DC56DC1E7EFDDF5921E36BD3E&yid=67289AFF6305E306&vid=DB817633AA4F79B9&iid=B31275AF3241DB2D&sid=9CF7A0430CBB2DFD&eid=F3583C8E78166B9E&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=1&reference_num=0