%0 Journal Article
%T SYNTHESIS OF ALIGNED CARBON NANOTUBES ARRAY BY RADIO FREQUENCY PLASMA-ENHANCED HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION<br>取向碳纳米管阵列的等离子体复合化学气相沉积法制备
%A CHEN Yi-Ming
%A ZHANG Hai-Yan
%A ZHU Qing-Feng
%A CHEN Yu-Ting
%A CHEN Lie-Chun
%A YANG Da-Yong
%A <br>陈易明
%A 张海燕
%A 朱清锋
%A 陈雨婷
%A 陈列春
%A 杨大勇
%J 红外与毫米波学报
%D 2008
%I Science Press
%X 采用热丝和射频等离子体复合化学气相沉积技术,用旋涂法制备负载催化剂的硅片衬底,以CH4为碳源制备出取向碳纳米管阵列薄膜.利用扫描电子显微镜对不同还原时间和不同N i(NO3)2浓度下制备的催化剂基片和取向碳纳米管阵列薄膜进行形貌分析,用透射电子显微镜和拉曼光谱对碳纳米管进行表征.结果表明,在H2-N2气氛中热还原后硅片上的催化剂粒径均匀,排列致密,利用该法制备的碳纳米管为竹节型多壁碳纳米管,管径分布均匀,管长约5μm.碳纳米管阵列薄膜垂直于硅片衬底生长,生长排列均匀致密,具有良好的取向性.
%K aligned carbon nanotubes array
%K radio frequency plasma enhanced hot filament chemical vapor depositon
%K spin coating<br>取向碳纳米管阵列
%K 热丝射频等离子体复合化学气相沉积
%K 旋涂法
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=2A603071C9C029B51EFE13C565F3C36B&yid=67289AFF6305E306&vid=DB817633AA4F79B9&iid=B31275AF3241DB2D&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=9