%0 Journal Article
%T 128×128PtSi红外焦平耐用硅衍射微镜阵列的设计与制备
%A 李毅
%A 易新建
%A 陈思乡
%J 红外与毫米波学报
%D 2000
%I Science Press
%X 通过考虑互相关联的光学和工艺参数,设计了3～5μm红外128×128硅衍射微透镜阵列.阵列中微透镜的孔径为50μm,透镜F数为f/2.5,微透镜阵列的中心距为50μm.采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列.对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论,对制备出的128×128硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量.
%K 红外焦平面
%K 衍射
%K 微透镜阵列
%K 硅
%K 红外探测
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=10D88A64A8F87C9E&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=38B194292C032A66&sid=2BA123C6EB9D54C2&eid=1E41DF9426604740&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=5