%0 Journal Article
%T THE MORPHOLOGY OF MICRO HOLE PN JUNCTION IN P-TYPE HgCdTe FORMED BY FEMTOSECOND LASER DRILLING<br>飞秒激光对P型碲镉汞打孔的形貌和PN结特性研究
%A ZHOU Song-Min
%A ZHA Fang-Xing
%A GUO Qing-Tian
%A YIN Fei
%A LI Mao-Sen
%A MA Hong-Liang
%A ZHANG Bo
%A <br>周松敏
%A 查访星
%A 郭青天
%A 殷菲
%A 李茂森
%A 马洪良
%A 张波
%J 红外与毫米波学报
%D 2010
%I Science Press
%X 激光束诱导电流（LBIC）检测实验表明，飞秒激光刻蚀P型碲镉汞形成的孔洞结构具有PN结特性.实验研究了激光刻蚀功率、激光聚焦透镜数值孔径等参数对刻蚀孔形貌的影响，发现在较低的激光功率范围内，孔径与激光功率基本呈线性关系.刻蚀孔反型层的厚度也与激光功率基本呈线性关系，但不同激光功率刻蚀所形成孔结构的LBIC信号强度的改变不大.另外，还研究了刻蚀激光在材料中聚焦深度对刻蚀孔LBIC信号的影响，发现该因素的影响并不明显.
%K 碲镉汞
%K PN结
%K 激光束诱导电流
%K 飞秒激光打孔
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=4A9226E9405B2D5C0420CDE70C4CFDED&yid=140ECF96957D60B2&vid=771469D9D58C34FF&iid=94C357A881DFC066&sid=5FF9F4F7CB1800C7&eid=4B168891B5E5FB30&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=0&reference_num=0