%0 Journal Article
%T STUDIES ON INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY OF DIFFERENT ORIENTED CVD DIAMOND FILMS<br>不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究
%A SU Qing-Feng
%A XIA Yi-Ben
%A WANG Lin-Jun
%A LIU Jian-Min
%A SHI Wei-Min
%A <br>苏青峰
%A 夏义本
%A 王林军
%A 刘健敏
%A 史伟民
%J 红外与毫米波学报
%D 2006
%I Science Press
%X 采用红外椭圆偏振光谱仪对HFCVD方法所制备的不同取向金刚石薄膜的光学参数进行了测量.结果表明(001)取向金刚石薄膜具有较佳的光学质量,在红外波段基本是透明的.在2.5~12.5μm红外波长范围内,(001)取向金刚石膜的折射率和消光系数几乎不随波长的改变而变化,折射率为2.391,消光系数在10-5范围内;对于(111)取向金刚石膜,其折射率和消光系数随波长的改变有微小变化,折射率和消光系数都低于(001)取向膜.通过计算拟合得到(001)取向金刚石膜的介电常数为5.83,优于(111)取向膜.
%K CVD diamond film
%K infrared spectroscopic ellipsometry
%K refractive index
%K extinction coefficient<br>CVD金刚石膜
%K 红外椭圆偏振光谱
%K 折射率
%K 消光系数
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=D3B4F771D1A06062008B4D0A2EF05996&aid=C9A58FCC388514FA&yid=37904DC365DD7266&vid=C5154311167311FE&iid=0B39A22176CE99FB&sid=7AA74D31F1FF2DCE&eid=CFAC5CB624A41AFD&journal_id=1001-9014&journal_name=红外与毫米波学报&referenced_num=3&reference_num=17